После окончания экскурсии группа прибыла в специально оборудованный конференц-зал на крыше базы с максимальным уровнем безопасности.
Тяжелая звукоизолирующая дверь закрылась, и в комнате остались только ключевые лица.
После короткой паузы Чан Хаонан сделал глоток чая, поставил чашку и посмотрел прямо на У Минхана.
— Простите, академик У, отложив в сторону путь дальнейшей оптимизации технологий многократной экспозиции и повышения разрешения, есть ли более прямой технологический путь для повышения разрешения при однократной экспозиции при существующих источниках света 193 нм ArF?
Обладая таким козырем, как материал с отрицательным показателем преломления, наиболее фундаментальным решением, конечно, является переход на поверхностную плазмонную литографию, замена изображения волнами, несущими высокочастотную информацию, волнами передачи низкой частоты, что напрямую разрушит основы полупроводниковой производственной системы.
Но это все равно что строить высотное здание с нуля, приходится начинать с переосмысления даже теоретических основ, что, очевидно, не может быть сделано за один день.
Поэтому, чтобы справиться с возможным кризисом, лучше всего все же разработать некоторые быстрые и эффективные способы улучшения на существующей основе.
Чан Хаонан долго размышлял о истинной цели У Минхана, но этот вопрос был слишком простым, и из него ничего не выходило.
Пришлось ответить как обычно:
— При одинаковой длине волны источника света ключевые показатели производительности различных моделей фотолитографов, таких как наша текущая NXT:1950i и более продвинутая NXT:2000i от ASML, по-прежнему являются числовой апертурой (NA) и технологическим коэффициентом.
Он взял лазерную указку и набросал на столе простую схему светового пути:
— NA, простыми словами, определяет способность оптической системы собирать и концентрировать свет. Чем выше этот показатель, тем меньше теоретический предел разрешения.
Свет лазерной указки остановился на месте, символизирующем линзовую группу объектива:
— Конкретно, NA равен произведению показателя преломления (n) подложки, суспензии и фоторезиста, умноженному на синус угла полусферического отверстия. Конечно, свобода выбора фоторезиста и угла отверстия ограничена, поэтому в основном это материалы двух других элементов.
— Наша в настоящее время используемая NXT:1950i имеет подложку из кальция, фторида, в сочетании с суспензией серии 2G, NA может достигать примерно 1,35, а более продвинутая NXT:2000i имеет подложку из фторида бария, улучшенную по характеристикам, а суспензия также оптимизирована до серии 3G, что позволяет повысить NA до примерно 1,45.
У Минхан опустил лазерную указку и посмотрел на Чана Хаонана:
— Но это, в основном, предел традиционных технологических линий, — сказал он.
Чан Хаонан внимательно слушал, а затем слегка нахмурился: «Я не знаком с этим аспектом суспензии, но… почему нельзя использовать для подложки материал с более высоким показателем преломления?»
Затем он добавил более подробную цифру: «Я помню… показатель преломления ильменита-граната может быть близок к 1,9?»
Это было материал, который использовался во время предыдущих экспериментов.
Как только этот вопрос был задан, все в комнате, включая Шу Сюэ и Хуан Вэя, одновременно оживились.
Дело не в том, насколько сложен сам вопрос.
А в том, что он был достаточно конкретным.
Это явно не вопрос, который мог задать неопытный человек.
Какой бы ни был ответ, он бы сильно подтвердил одну вещь: прибыл ли академик Чан с четкой технической целью и решением!
У Минхан немедленно ответил: «Ильменит-гранат действительно является известным на сегодняшний день прозрачным материалом с самым высоким показателем преломления в глубоком ультрафиолетовом диапазоне… теоретически, если его можно успешно применить в качестве подложки объектива, в сочетании с самыми современными суспензиями третьего поколения, действительно можно повысить значение NA до 1,70… или выше».
Он сначала похвалил, а затем перешел к:
— Однако, у высокой NA, вызванной высоким показателем преломления, есть недостатки. Он снова взял лазерную указку и подчеркнул местоположение подложки на предыдущей схеме: «Хороший литографический объектив требует максимально плавной траектории света внутри системы, а большие углы распространения света неизбежно приводят к большим аберрациям и хроматическим искажениям».
— В процессе проектирования объектива необходимо с одной стороны предотвратить перекрытие светового пучка между несколькими зеркалами в системе, а с другой – максимально снизить аберрации и хроматические аберрации, вызванные высоким показателем преломления… Это чрезвычайно сложно… Даже если проектирование возможно, потребуется добавление большего количества линзовых элементов, более сложный дизайн поверхности…
«…»
У Минхан не был специалистом по оптическим системам, но эти знания не были чем-то особенно передовым в области производства полупроводников, поэтому он смог быстро объяснить:
— В общем, это пока невозможно.
Однако этот результат не разочаровал Чана Хаонана.
Особенно когда он услышал, как ему говорят об аберрациях и хроматических аберрациях —
Независимо от того, сработает ли предположение о «преодолении предела дифракции», отрицательные хроматические свойства материала с отрицательным показателем преломления определенно существуют.
Его потенциал в компенсации хроматических аберраций сам по себе может стать ключом к решению проблем проектирования объективов с высокой NA.
Он быстро начал обдумывать в уме:
Если удастся значительно повысить значение NA существующих DUV-литографов с 1,35 до 1,70 и выше, это эквивалентно сжатию эквивалентной длины волны разрешения с 142,2 нм до 112,9 нм.
Это значительно расширит границы практического применения существующих DUV-устройств, может напрямую решить проблемы с графикой 40 нм и даже 28 нм, значительно снизить зависимость от технологии многократной экспозиции, тем самым избежав трясины выхода годной продукции и затрат!
После короткого размышления у Чана Хаонана уже был предварительный план.
Он все еще не упомянул прямо о существовании материалов с отрицательным показателем преломления, но решил продвинуться дальше.
— По правде говоря, лаборатория «Факел в настоящее время исследует новую концепцию оптической системы, которая включает в себя некоторые… нестандартные пути», — осторожно сказал он. «Чтобы лучше оценить потенциал этой новой концепции, нам срочно нужны некоторые ключевые параметры проектирования».
У Минхана в голове промелькнула мысль: наконец-то пришло время.
Требования, выдвинутые стороной, были чрезвычайно конкретными и профессиональными, с четким акцентом на оптическую систему.
В сочетании с упомянутой ранее «новой концепцией проектирования» и вниманием к свойствам ильменита-граната, в сознании У Минхана постепенно вырисовывался размытый, но волнующий контур —
У академика Чана, возможно, есть революционная технология, способная решить проблему высоких значений NA!
Подумав об этом, он с поразительной скоростью достал из кармана заранее подготовленные бумагу и ручку:
— Вы говорите…
Чан Хаонан удивленно посмотрел на готовую к работе фигуру перед собой, а затем начал перечислять требования:
— Во-первых, нам необходимо четко определить оптические характеристики, требуемые для конкретного значения NA, а также необходимые для процесса фотолитографии. Это включает в себя, но не ограничивается: размер эффективного поля зрения, допустимая максимальная сферическая аберрация, допустимая деформация, а также рабочее расстояние системы — жесткие показатели.
— Во-вторых, общая структура расположения линзового блока…
«…»
Он долго и обстоятельно говорил, заняв минут десять.
У Минхан просмотрел все с начала до конца.
Неужели это сделано намеренно, но в любом случае, это почти не касалось ключевых технологий компании «Хуасин Инкорпорейтед».
Ему даже не нужно было получать одобрения совета директоров, он мог принимать решения на своем уровне.
Поэтому он кивнул Чжоу Сюэ.
Тот тут же продолжил:
— Хотя проект по разработке объектива полного преломления был прекращен, все технические документы и данные экспериментов полностью сохранены в архиве, я могу предоставить прямой доступ к ним. Хотя первоначальный проект далек от достижения значения NA 1,7, логика проектирования, выбор материалов и записи об возникших аберрациях, вероятно, будут очень полезны.
— Не волнуйтесь, достаточно будет доступа для просмотра, — кивнул Чан Хаонан. «Это все часть одной системы, я знаю, что внутри есть некоторые требования к конфиденциальности, и копировать их не будут».
Услышав это, Чжоу Сюэ немного облегченно вздохнул:
Если бы тот действительно хотел скопировать копию, ему самому пришлось бы нести ответственность.
— Благодарю вас, академик Чан, за понимание, — сказал Чжоу Сюэ, потерев руки, но тут же изменив тон:
— Но, академик Чана, насчет системы объективов с обратным преломлением… у «Хуасин есть лишь самые базовые теоретические знания и поверхностная информация, которую можно собрать из открытых источников. Подробные данные по проектированию, применению материалов и опыту контроля аберраций у нас немного».
— В Китае действительно лучше всего в этом плане «Чангуан Групп. Они являются основной силой государства в разработке передовых оптических систем литографии и также отвечают за разработку систем объективов…»
У Минхан уже собрал тетрадь и снова заговорил:
— Академик Чана, если потребуется, я могу немедленно связаться с «Чангуан. Мы можем выступить посредниками, чтобы вы получили необходимую спецификацию или проектные референсы… исследовательская группа Чжан Рунин в «Чангуане» является настоящим авторитетом в этой области».
Конечно.
Подумал Чана.
Теперь можно сэкономить время.
Он встал и пожал руку У Минхану:
— Тогда прошу вас, академик У.
http://tl.rulate.ru/book/129535/7419408
Готово:
